獲得首筆訂單！昆山企業(yè)打破國際壟斷
日前
由江蘇艾森半導(dǎo)體材料股份有限公司
自主開發(fā)的正性PSPI產(chǎn)品
已獲得晶圓頭部企業(yè)的首筆訂單
這是正性PSPI在主流晶圓廠的
首個國產(chǎn)化材料訂單
成功打破國外企業(yè)壟斷
具有國產(chǎn)化里程碑意義
是兼有耐熱性能與感光性能的一類高分子材料，同時具有電絕緣性，可保護(hù)半導(dǎo)體電路免受物理和化學(xué)條件的影響。與傳統(tǒng)非光敏PI相比，PSPI本身有著很好的感光性能，在使用時無需涂覆僅起工作介質(zhì)作用的光刻膠，可以大大縮短工序，提高生產(chǎn)效率。
目前，該技術(shù)被廣泛應(yīng)用于晶圓的鈍化防護(hù)層、功率器件及IGBT的絕緣高溫防護(hù)層、α射線屏蔽材料等，對器件的應(yīng)用可靠性起關(guān)鍵作用。
近年來，艾森股份圍繞電子電鍍、光刻兩個半導(dǎo)體制造及封裝過程中的關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，形成了電鍍液及配套試劑、光刻膠及配套試劑兩大產(chǎn)品板塊布局。“在光刻膠及配套試劑方面，我們聚焦于特色工藝光刻膠，實施差異化、高端化的發(fā)展戰(zhàn)略，累計申請發(fā)明專利90項，已授權(quán)39項。”企業(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，目前企業(yè)正積極布局負(fù)性PSPI、低溫交聯(lián)型PSPI、超高感度PSPI以及類PI型材料，預(yù)計數(shù)年內(nèi)可完成材料認(rèn)證工作，進(jìn)入量產(chǎn)階段。
來源：昆山發(fā)布
