日前
艾森股份宣布
PSPI光刻膠已進入
小批量量產階段
同時,企業自主開發的正性PSPI產品已獲得晶圓頭部企業的首筆訂單,此為正性PSPI在主流晶圓廠的首個國產化材料訂單,成功打破美國及日本企業壟斷,具有國產化里程碑意義。
光敏聚酰亞胺(PSPI)是兼有耐熱性能與感光性能的一類高分子材料,同時具有電絕緣性,可保護半導體電路免受物理和化學條件的影響。
與傳統非光敏PI相比,由于PSPI本身有著很好的感光性能,因此在使用時無需涂覆僅起工作介質作用的光刻膠,可以大大縮短工序,提高生產效率。目前被廣泛應用于晶圓的鈍化防護層、功率器件及IGBT的絕緣高溫防護層、α射線屏蔽材料等,對器件的應用可靠性起關鍵作用。
艾森股份作為千燈鎮成長起來的優秀民營企業,自2010年成立以來,始終深耕主業、專注創新,逐步成長為國內領先的半導體材料企業,是工信部建議支持的首批國家級專精特新“小巨人”企業。去年成功登陸資本市場,成為科創板光刻膠第一股。
近年來,艾森股份圍繞電子電鍍、光刻兩個半導體制造及封裝過程中的關鍵工藝環節,形成了電鍍液及配套試劑、光刻膠及配套試劑兩大產品板塊布局。在光刻膠及配套試劑方面,企業聚焦于特色工藝光刻膠,實施差異化、高端化的發展戰略,累計申請發明專利87項,已授權36項。同時,企業積極布局負性PSPI、低溫交聯型PSPI、超高感度PSPI以及類PI型材料,預計數年內可完成材料認證工作,進入量產階段。
新材料產業是戰略性、基礎性產業。近年來,千燈堅持走產業高端化、工藝智能化、園區綠色化之路,依托昆山精細材料產業園等特色園區載體,支持和服務企業自主創新、轉型升級,通過培育一批優質項目,推動全鎮產業經濟高質量發展。作為全市新材料產業發展的高地,今年以來全鎮新材料產業實現產值220億元,同比增長5.7%。